Oberflächenmesstechniksystem

FRT MicroProf MPR 1250

Fries Research & Technology
Gerätebezeichnung: FRT MicroProf® MPR 1250
Der FRT MicroProf® MPR 1250 ist ein hochpräzises Oberflächenmesstechniksystem
der MicroProf®-Serie von Fries Research & Technology GmbH (FRT).
Diese Systeme sind für die zerstörungsfreie und berührungslose Analyse von
Oberflächenparametern wie Topografie, Rauheit, Schichtdicke und weiteren konzipiert.
Merkmale des FRT MicroProf:
Gerätedetails:
Modell: FRT MicroProf® MPR1250
Artikelnummer: 200 00
Sensortyp: CWL 300 µm
Seriennummer: 0904001
Messprinzip: Chromatisch-konfokaler Punktsensor
Lichtquelle: Halogenlampe, Weißlicht
Vertikale Auflösung: bis zu 3 nm
Messgenauigkeit (Z): 100 nm
Laterale Auflösung (XY): 2,5 µm
Messwinkel zur Oberfläche: 90° ±30°
Max. Probengröße: ca. 310 x 310 x 50 mm
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Technische Daten (Auszug):
XY-Tisch:
Typ: kompakter XY-Kreuztisch
Verfahrweg (Messbereich): 200 x 200 mm
Lagerung: mechanische Kreuzrollenführung
Antrieb: DC-Motor mit Kugelumlaufspindel
Positionsmesssystem: Heidenhain-Glasmaßstab mit Referenzmarke
Messsystemauflösung: 0,2 µm
Wiederholgenauigkeit: < ±1 µm
Rechtwinkligkeit XY: < 4 µm / 200 mm
Höhenschlag (pro Achse): < 2 µm / 200 mm
Z-Achse (motorisiert):
Typ: Linearachse
Verfahrweg: 50 mm (optional 100 mm)
Antrieb: Schrittmotor mit Spindelantrieb
Seitenschlag: < 2 µm / 50 mm
Manuelle Grobverstellung (optional):
Typ: Schwalbenschwanzführung
Verstellbereich: bis 300 mm Probenhöhe
Messung:
Minimaler Punktabstand (XY): 0,6 µm
Probengröße: ca. 310 x 310 x 50 mm
Max. Probengewicht: 5 kg (optional 10 kg)
Messgeschwindigkeit: 1 µm/s bis max. 100 mm/s
System:
Gesamtgewicht: ca. 275 kg (Messaufbau: 225 kg)
Aufstellfläche Messaufbau: ca. 0,9 x 0,8 m
Abmessungen Steuerung (B x T x H): ca. 0,55 x 0,53 x 0,32 m
Stromversorgung (EU/US): 110–240 V, 50–60 Hz, 16 A
Leistungsaufnahme: ca. 300–400 W
Betriebsbedingungen:
Temperaturbereich: 22 °C ±5 °C
Temperaturkonstanz: < 0,5 °C
Gewicht ca. 500 kg
Zustand:
Das Gerät befindet sich in einem sehr guten technischen und optischen Zustand.
Alle Achsen bewegen sich präzise und gleichmäßig.
Lieferumfang:
MicroProf® MPR200 00 XY-Messsystem
Steuerungseinheit
Anschlusskabel
(Änderungen und Irrtümer in den technischen Daten, Angaben sind vorbehalten!)
Besichtigung & Test vor Ort nach Absprache möglich.
Weitere Fragen können wir gerne am Telefon für Sie beantworten.