Wafer Front-End Module 300mmBROOKS ASYST
Spartan EFEM Sorter
Wafer Front-End Module 300mm
BROOKS ASYST
Spartan EFEM Sorter
Festpreis zzgl. MwSt.
EUR 59’750
Baujahr
2010
Zustand
Gebraucht
Standort
Dresden 

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Daten zur Maschine
- Maschinenbezeichnung:
- Wafer Front-End Module 300mm
- Hersteller:
- BROOKS ASYST
- Modell:
- Spartan EFEM Sorter
- Baujahr:
- 2010
- Zustand:
- gebraucht
Preis & Standort
Festpreis zzgl. MwSt.
EUR 59’750
- Standort:
- Heilbronner Str. 22, 01189 Dresden, Deutschland

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Details zum Angebot
- Inserat-ID:
- A20798077
- Referenznummer:
- LW43278
- Aktualisierung:
- zuletzt am 19.12.2025
Beschreibung
Brooks Automation Wafer Front-End Module, 300mm, ASYST Spartan EFEM, Sorter
Modell: ASYST Spartan EFEM
Typ: Sorter
Zustand: Gebraucht
Technische Daten:
100-240V AC
50/60Hz
10A
Allgemeines:
300-mm EFEM mit 3 Loadports, Reinraum-Minienvironment und integriertem Wafer-Transfer-Roboter
Dieses Gerät ist ein Equipment Front End Module (EFEM) der Baureihe ASYST Spartan, entwickelt für die vollautomatisierte Handhabung von 300-mm-Siliziumwafern in der Halbleiterfertigung.
Es besitzt drei Loadports, ein Mini-Environment mit ULPA-Luftfiltern, interne Beleuchtung, umfassende Sicherheitssteuerungen sowie alle erforderlichen Schnittstellen zur Anlagenintegration.
Zusätzlich ist ein voll integrierter Wafer-Transfer-Roboter verbaut, der Wafer aus den FOUP-/Kassetten-Loadports entnimmt, vereinzelt und präzise an nachfolgende Prozessmodule übergibt.
Baujahr: 27.12.2010
inkl. CD mit Bedienungs-, Service- und Installationshandbücher (9701-3060-01 Rev G)
Isdpfx Aox I Ax Soh Detr
Modell: ASYST Spartan EFEM
Typ: Sorter
Zustand: Gebraucht
Technische Daten:
100-240V AC
50/60Hz
10A
Allgemeines:
300-mm EFEM mit 3 Loadports, Reinraum-Minienvironment und integriertem Wafer-Transfer-Roboter
Dieses Gerät ist ein Equipment Front End Module (EFEM) der Baureihe ASYST Spartan, entwickelt für die vollautomatisierte Handhabung von 300-mm-Siliziumwafern in der Halbleiterfertigung.
Es besitzt drei Loadports, ein Mini-Environment mit ULPA-Luftfiltern, interne Beleuchtung, umfassende Sicherheitssteuerungen sowie alle erforderlichen Schnittstellen zur Anlagenintegration.
Zusätzlich ist ein voll integrierter Wafer-Transfer-Roboter verbaut, der Wafer aus den FOUP-/Kassetten-Loadports entnimmt, vereinzelt und präzise an nachfolgende Prozessmodule übergibt.
Baujahr: 27.12.2010
inkl. CD mit Bedienungs-, Service- und Installationshandbücher (9701-3060-01 Rev G)
Isdpfx Aox I Ax Soh Detr
Anbieter
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