Wafer Front-End Module 300mm
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter

Festpreis zzgl. MwSt.
EUR 59’750
Baujahr
2010
Zustand
Gebraucht
Standort
Dresden Deutschland
Wafer Front-End Module 300mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Wafer Front-End Module 300mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Wafer Front-End Module 300mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
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Daten zur Maschine

Maschinenbezeichnung:
Wafer Front-End Module 300mm
Hersteller:
BROOKS ASYST
Modell:
Spartan EFEM Sorter
Baujahr:
2010
Zustand:
gebraucht

Preis & Standort

Festpreis zzgl. MwSt.
EUR 59’750

Standort:
Heilbronner Str. 22, 01189 Dresden, Deutschland Deutschland
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Details zum Angebot

Inserat-ID:
A20798077
Referenznummer:
LW43278
Aktualisierung:
zuletzt am 19.12.2025

Beschreibung

Brooks Automation Wafer Front-End Module, 300mm, ASYST Spartan EFEM, Sorter

Modell: ASYST Spartan EFEM
Typ: Sorter
Zustand: Gebraucht

Technische Daten:
100-240V AC
50/60Hz
10A

Allgemeines:
300-mm EFEM mit 3 Loadports, Reinraum-Minienvironment und integriertem Wafer-Transfer-Roboter

Dieses Gerät ist ein Equipment Front End Module (EFEM) der Baureihe ASYST Spartan, entwickelt für die vollautomatisierte Handhabung von 300-mm-Siliziumwafern in der Halbleiterfertigung.
Es besitzt drei Loadports, ein Mini-Environment mit ULPA-Luftfiltern, interne Beleuchtung, umfassende Sicherheitssteuerungen sowie alle erforderlichen Schnittstellen zur Anlagenintegration.
Zusätzlich ist ein voll integrierter Wafer-Transfer-Roboter verbaut, der Wafer aus den FOUP-/Kassetten-Loadports entnimmt, vereinzelt und präzise an nachfolgende Prozessmodule übergibt.


Baujahr: 27.12.2010
inkl. CD mit Bedienungs-, Service- und Installationshandbücher (9701-3060-01 Rev G)
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Anbieter

Registriert seit: 2014

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